Sachverhalt:
1.
1.1 S.___, geboren 1954, arbeitete seit dem 3. Dezember 1984 bei der A.___ AG als Appreturarbeiter. Aus gesundheitlichen Gründen konnte er diese Arbeit im Verlaufe des Jahres 1999 nur noch beschränkt und schliesslich gar nicht mehr ausüben (Urk. 8/46). Wegen Rücken- und Beinschmerzen meldete sich der Versicherte am 17. März 2000 bei der Invalidenversicherung zum Rentenbezug an (Urk. 8/47). Die Sozialversicherungsanstalt des Kantons Zürich, IV-Stelle, holte die Arbeitgeberberichte der A.___ AG vom 22. Mai 2000 (Urk. 8/46) und vom 8. Dezember 2000 (Urk. 8/44) sowie die Arztberichte von Dr. med. B.___, Allgemeine Medizin FMH, vom 27. Juni 2000 (Urk. 8/23) und der Klinik C.___ vom 31. August 2000 (Urk. 8/22) und vom 6. November 2000 (Urk. 8/21) ein. Gestützt auf diese Unterlagen kam die IV-Stelle zum Ergebnis, dass kein anspruchsbegründender Invaliditätsgrad bestehe, weshalb sie das Rentenbegehren - trotz einer vom Versicherten zwischenzeitlich geltend gemachten Verschlechterung des Gesundheitszustandes - mit unangefochten in Rechtskraft erwachsener Verfügung vom 9. Mai 2001 abwies (vgl. Feststellungsblatt vom 25. April 2001, Urk. 8/12). Der Versicherte befand sich hernach vom 23. Mai bis zum 13. Juni 2001 in der Rheuma- und Rehabilitationsklinik D.___ in einer intensiven stationären Rehabilitation (vgl. Austrittsbericht vom 10. Juli 2001, Urk. 8/20). Die IV-Stelle holte von dieser Klinik den Bericht vom 18. August 2001 (Urk. 8/19) ein und verneinte den Rentenanspruch des Versicherten nach Durchführung des Vorbescheidverfahrens mit Verfügung vom 12. Dezember 2001 (Urk. 8/9) erneut, da erst seit Juni 2001 ohne wesentlichen Unterbruch eine erhebliche Einschränkung der Arbeitsfähigkeit bestehe und die erforderliche einjährige Wartezeit somit noch nicht abgelaufen sei.
1.2 Die gegen diese Verfügung erhobene Beschwerde wies das Sozialversicherungsgericht des Kantons Zürich mit Urteil vom 22. Mai 2002 ab (Urk. 8/8). Es begründete dies damit, dass die IV-Stelle zwar zu Unrecht festgestellt habe, dass die Wartezeit erst im Juni 2001 zu eröffnen gewesen sei, weil dieser Zeitpunkt mit dem Eintritt der Arbeitsunfähigkeit in der angestammten Tätigkeit als Appreturarbeiter per 9. September 1999 gleichzusetzen sei. Die IV-Stelle habe aber den Rentenanspruch des Versicherten in der Verfügung vom 9. Mai 2001 rechtskräftig abgewiesen, und es sei seither offensichtlich keine Verschlechterung des Gesundheitszustandes eingetreten, womit die Voraussetzungen für eine revisionsweise Änderung dieser Verfügung nicht gegeben seien. Die IV-Stelle habe den Rentenanspruch des Versicherten deshalb im Ergebnis zu Recht verneint. Die gegen das Urteil des Sozialversicherungsgerichts erhobene Beschwerde hiess das Eidgenössische Versicherungsgericht (EVG) mit Urteil vom 10. März 2003 gut (Urk. 8/7). Es teilte die Auffassung des Sozialversicherungsgerichts, wonach die einjährige Wartezeit per 9. September 1999 zu eröffnen ist, und bestätigte auch grundsätzlich die Ansicht, wonach ein Rentenanspruch des Versicherten nur hätte bejaht werden können, wenn in der Zeit zwischen dem 9. Mai 2001 und dem 12. Dezember 2001 eine anspruchserhebliche Verschlechterung des Gesundheitszustandes oder der erwerblichen Auswirkungen des an sich gleich gebliebenen Gesundheitszustandes eingetreten wäre. Das EVG führte indessen aus, es sei zu beachten, dass die IV-Stelle dem Versicherten in der Verfügung vom 9. Mai 2001 zugesichert habe, die von ihm geltend gemachte, vor Erlass der ersten Verfügung eingetretene Verschlechterung des Gesundheitszustandes im Rahmen einer Neuanmeldung zu prüfen. Unter diesen Umständen könne es nicht angehen, die vom Versicherten für denselben Zeitraum erneut geltend gemachte Verschlechterung des Gesundheitszustandes ausser Acht zu lassen unter Hinweis darauf, dass eine solche im Rahmen einer Beschwerde gegen die Verfügung vom 9. Mai 2001 hätte vorgebracht werden müssen. Das EVG stellte im Weiteren fest, der Gesundheitszustand des Versicherten habe sich ausweislich der Akten bereits seit Juni 2001 verschlechtert; aufgrund des Berichts der Klinik D.___ stehe fest, dass er jedenfalls ab 13. Juni 2001 in seiner Arbeitsfähigkeit um 50 % eingeschränkt gewesen sei. Das höchste Gericht wies deshalb die IV-Stelle in Gutheissung der Beschwerde an, ausgehend von einer ab Juni 2001 bestehenden Arbeitsunfähigkeit von 50 % den Grad der Erwerbsunfähigkeit zu ermitteln und gestützt darauf über den Anspruch des Versicherten neu zu verfügen.
1.3 Die IV-Stelle holte daraufhin den Arztbericht von Dr. B.___ vom 24. Juli 2003 (Urk. 8/18) sowie das Gutachten des Spitals E.___ vom 26. September 2003 (Urk. 8/17) ein. Mit Verfügung vom 30. Oktober 2003 teilte sie dem Versicherten mit, die medizinischen Abklärungen hätten ergeben, dass ihm die Ausübung einer Tätigkeit ohne schweres Heben und mit wechselnder Körperposition voll zumutbar sei. Damit betrage die Erwerbseinbusse bzw. der Invaliditätsgrad lediglich 18 %, weshalb das Leistungsbegehren abgewiesen werde (Urk. 8/4). Die gegen diese Verfügung am 1. Dezember 2003 (Urk. 8/30) erhobene Einsprache wies die IV-Stelle mit Entscheid vom 14. Januar 2004 (Urk. 2) ab.
2. Gegen diesen Einspracheentscheid liess S.___ durch Rechtsanwalt Dr. Kreso Glavas am 12. Februar 2004 Beschwerde erheben mit folgenden Anträgen (Urk. 1 S. 2):
"1. Der angefochtene Einspracheentscheid sei aufzuheben, soweit darauf einzutreten ist, und die Streitsache sei zur Neubeurteilung an die Vorinstanz zurückzuweisen.
2. Eventualiter sei der angefochtene Einspracheentscheid aufzuheben, und dem Versicherten sei nach Massgabe des bundesgerichtlichen Entscheides vom 10. März 2003 ab 13. Juni 2001 mindestens eine halbe Rente zu gewähren.
3. Unter Kosten- und Entschädigungsfolgen zu Lasten der Beschwerdegegnerin."
Mit Beschwerdeantwort vom 22. März 2004 schloss die IV-Stelle auf Abweisung der Beschwerde (Urk. 7). Mit Replik vom 29. März 2004 liess der Versicherte vollumfänglich an seinen Anträgen festhalten (Urk. 11). Nachdem die IV-Stelle keine Duplik eingereicht hatte, wurde der Schriftenwechsel am 25. Mai 2004 geschlossen (Urk. 14).
Auf die Vorbringen der Parteien und die eingereichten Akten wird, soweit erforderlich, in den Erwägungen eingegangen.
Das Gericht zieht in Erwägung:
1.
1.1 Invalidität ist die voraussichtlich bleibende oder längere Zeit dauernde ganze oder teilweise Erwerbsunfähigkeit (Art. 8 Abs. 1 des Bundesgesetzes über den Allgemeinen Teil des Sozialversicherungsrechts [ATSG]). Die Invalidität kann Folge von Geburtsgebrechen, Krankheit oder Unfall sein (Art. 4 Abs. 1 des Bundesgesetzes über die Invalidenversicherung [IVG]). Erwerbsunfähigkeit ist der durch Beeinträchtigung der körperlichen oder geistigen Gesundheit verursachte und nach zumutbarer Behandlung und Eingliederung verbleibende ganze oder teilweise Verlust der Erwerbsmöglichkeiten auf dem in Betracht kommenden ausgeglichenen Arbeitsmarkt (Art. 7 ATSG).
1.2 Gemäss Art. 28 Abs. 1 IVG in der bis zum 31. Dezember 2003 gültig gewesenen Fassung haben Versicherte Anspruch auf eine ganze Rente, wenn sie mindestens zu 66 2/3 Prozent, auf eine halbe Rente, wenn sie mindestens zu 50 Prozent oder auf eine Viertelsrente, wenn sie mindestens zu 40 Prozent invalid sind. In Härtefällen besteht nach Art. 28 Abs. 1bis IVG bereits bei einem Invaliditätsgrad von mindestens 40 Prozent Anspruch auf eine halbe Rente.
Laut Art. 28 Abs. 1 IVG in der seit dem 1. Januar 2004 gültigen Fassung haben Versicherte Anspruch auf eine ganze Rente, wenn sie mindestens zu 70 Prozent, auf eine Dreiviertelsrente, wenn sie mindestens zu 60 Prozent, auf eine halbe Rente, wenn sie mindestens zu 50 Prozent oder auf eine Viertelsrente, wenn sie mindestens zu 40 Prozent invalid sind.
Bei erwerbstätigen Versicherten ist der Invaliditätsgrad gemäss Art. 16 ATSG aufgrund eines Einkommensvergleichs zu bestimmen. Dazu wird das Erwerbseinkommen, das die versicherte Person nach Eintritt der Invalidität und nach Durchführung der medizinischen Behandlung und allfälliger Eingliederungsmassnahmen durch eine ihr zumutbare Tätigkeit bei ausgeglichener Arbeitsmarktlage erzielen könnte (sog. Invalideneinkommen), in Beziehung gesetzt zum Erwerbseinkommen, das sie erzielen könnte, wenn sie nicht invalid geworden wäre (sog. Valideneinkommen). Der Einkommensvergleich hat in der Regel in der Weise zu erfolgen, dass die beiden hypothetischen Erwerbseinkommen ziffernmässig möglichst genau ermittelt und einander gegenübergestellt werden, worauf sich aus der Einkommensdifferenz der Invaliditätsgrad bestimmen lässt (allgemeine Methode des Einkommensvergleichs; vgl. BGE 128 V 30 Erw. 1, 104 V Erw. 2a und b).
1.3 Um den Invaliditätsgrad bemessen zu können, ist die Verwaltung (und im Beschwerdefall das Gericht) auf Unterlagen angewiesen, die ärztliche und gegebenenfalls auch andere Fachleute zur Verfügung zu stellen haben. Aufgabe des Arztes oder der Ärztin ist es, den Gesundheitszustand zu beurteilen und dazu Stellung zu nehmen, in welchem Umfang und bezüglich welcher Tätigkeiten die versicherte Person arbeitsunfähig ist (BGE 125 V 261 Erw. 4). Im Weiteren sind die ärztlichen Auskünfte eine wichtige Grundlage für die Beurteilung der Frage, welche Arbeitsleistungen der versicherten Person noch zugemutet werden können (BGE 125 V 261 Erw. 4 mit Hinweisen; AHI 2002 S. 70 Erw. 4b/cc).
1.4 Das Sozialversicherungsgericht hat den Sachverhalt von Amtes wegen festzustellen und alle Beweismittel objektiv zu prüfen, unabhängig davon, von wem sie stammen, und danach zu entscheiden, ob sie eine zuverlässige Beurteilung des strittigen Leistungsanspruches gestatten. Insbesondere darf es beim Vorliegen einander widersprechender medizinischer Berichte den Prozess nicht erledigen, ohne das gesamte Beweismaterial zu würdigen und die Gründe anzugeben, warum es auf die eine und nicht auf die andere medizinische These abstellt (ZAK 1986 S. 188 Erw. 2a). Hinsichtlich des Beweiswertes eines ärztlichen Gutachtens ist im Lichte dieser Grundsätze entscheidend, ob es für die Beantwortung der gestellten Fragen umfassend ist, auf den erforderlichen allseitigen Untersuchungen beruht, die geklagten Beschwerden berücksichtigt und sich mit diesen sowie dem Verhalten der untersuchten Person auseinander setzt - was vor allem bei psychischen Fehlentwicklungen nötig ist -, in Kenntnis der und gegebenenfalls in Auseinandersetzung mit den Vorakten abgegeben worden ist, ob es in der Darlegung der medizinischen Zustände und Zusammenhänge einleuchtet, ob die Schlussfolgerungen des medizinischen Experten in einer Weise begründet sind, dass die rechtsanwendende Person sie prüfend nachvollziehen kann, ob der Experte oder die Expertin nicht auszuräumende Unsicherheiten und Unklarheiten, welche die Beantwortung der Fragen erschweren oder verunmöglichen, gegebenenfalls deutlich macht (BGE 122 V 160 Erw. 1c; U. Meyer-Blaser, Die Rechtspflege in der Sozialversicherung, BJM 1989, S. 30 f.; derselbe in H. Fredenhagen, Das ärztliche Gutachten, 3. Aufl. 1994, S. 24 f.).
1.5 Gemäss Art. 29 Abs. 2 BV haben die Parteien Anspruch auf rechtliches Gehör. Das rechtliche Gehör dient einerseits der Sachaufklärung, andererseits stellt es ein persönlichkeitsbezogenes Mitwirkungsrecht beim Erlass eines Entscheids dar, welcher in die Rechtsstellung einer Person eingreift. Dazu gehört insbesondere deren Recht, sich vor Erlass des in ihre Rechtsstellung eingreifenden Entscheids zur Sache zu äussern, erhebliche Beweise beizubringen, Einsicht in die Akten zu nehmen, mit erheblichen Beweisanträgen gehört zu werden und an der Erhebung wesentlicher Beweise entweder mitzuwirken oder sich zumindest zum Beweisergebnis zu äussern, wenn dieses geeignet ist, den Entscheid zu beeinflussen (BGE 129 II 504 Erw. 2.2, 127 I 56 Erw. 2b, 127 III 578 Erw. 2c, 126 V 130 Erw. 2a; zu Art. 4 Abs. 1 aBV ergangene, weiterhin geltende Rechtsprechung: BGE 126 I 16 Erw. 2a/aa, 124 V 181 Erw. 1a, 375 Erw. 3b, je mit Hinweisen).
Das Recht, angehört zu werden, ist formeller Natur. Die Verletzung des rechtlichen Gehörs führt ungeachtet der Erfolgsaussichten der Beschwerde in der Sache selbst zur Aufhebung der angefochtenen Verfügung. Es kommt mit anderen Worten nicht darauf an, ob die Anhörung im konkreten Fall für den Ausgang der materiellen Streitentscheidung von Bedeutung ist, d.h. die Behörde zu einer Änderung ihres Entscheides veranlasst wird oder nicht (BGE 127 V 437 Erw. 3d/aa, 126 V 132 Erw. 2b mit Hinweisen).
1.6 Verweist das Dispositiv eines Rückweisungsentscheides ausdrücklich auf die Erwägungen, werden diese zu dessen Bestandteil und haben, soweit sie zum Streitgegenstand gehören, an der formellen Rechtskraft teil. Dementsprechend sind die Motive, auf die das Dispositiv verweist, für die Behörde, an die die Sache zurückgewiesen wird, verbindlich (BGE 120 V 237 Erw. 1a, BGE 113 V 159 mit Hinweisen).
2.
2.1 Der Beschwerdeführer liess zur Begründung seiner Beschwerde geltend machen, der angefochtene Entscheid weise nur schon deshalb einen Mangel auf, weil die Beschwerdegegnerin es ohne Angabe von Gründen unterlassen habe, die vom Beschwerdeführer geforderte psychiatrische Untersuchung vorzunehmen. Zudem habe sie die von ihm nachträglich eingereichte Dokumentation des Hausarztes und des Instituts F.___ nicht gewürdigt, obwohl diese im Gutachten des Spitals E.___ für notwendig gehalten worden sei. Damit habe die Beschwerdegegnerin sowohl den Anspruch auf rechtliches Gehör als auch den Untersuchungsgrundsatz verletzt. Ebenso habe sie sich nicht an das Fairness- und Gleichheitsgebot gehalten, würde doch in gleich gelagerten Fällen eine psychiatrische Exploration vorgenommen. Im Weiteren sei zu beanstanden, dass die Beschwerdegegnerin die Folgepflicht aus dem Entscheid des EVG vom 10. März 2003 verletzt habe. In diesem Urteil sei nämlich klar festgehalten worden, dass die Wartefrist per 9. September 1999 zu eröffnen und die Arbeitsfähigkeit ab 13. Juni 2001 zu 50 % eingeschränkt gewesen sei. Nachdem die Beschwerdegegnerin erst im Jahre 2003 eine weitere Untersuchung durchgeführt habe, hätte sie dem Beschwerdeführer somit zumindest vorübergehend eine Rente gewähren müssen. Ausserdem habe die Beschwerdegegnerin die vom EVG geforderte umfassende medizinische Abklärung nicht vorgenommen, sondern sich auf ein rheumatologisches Gutachten beschränkt. Bezüglich des von der Beschwerdegegnerin durchgeführten Einkommensvergleichs sei schliesslich zu beanstanden, dass das Valideneinkommen lediglich auf Fr. 56'280.-- festgelegt worden sei. Dies entspreche nämlich dem Einkommen des Jahres 1999, in dem der Beschwerdeführer bereits gesundheitlich eingeschränkt gewesen sei. Aus dem IK-Zusammenzug ergebe sich, dass der Beschwerdeführer in den Jahren zuvor höhere Einkommen erzielt habe. Beim Invalideneinkommen habe die Beschwerdegegnerin ausserdem unberücksichtigt gelassen, dass ausländische Arbeitnehmer weniger als die statistischen Durchschnittslöhne verdienen würden (Urk. 1).
2.2 Demgegenüber führte die Beschwerdegegnerin aus, ihre medizinischen Abklärungen hätten ergeben, dass der Beschwerdeführer in einer angepassten Hilfsarbeitertätigkeit zu 100 % arbeitsfähig sei. Es bestehe weder eine Nervenschädigung noch gebe es Anzeichen für ein psychisches Leiden, so dass keine weiteren medizinischen Abklärungen erforderlich seien. Somit sei davon auszugehen, dass der Beschwerdeführer ein Invalideneinkommen von Fr. 46'036.-- erzielen könnte. Verglichen mit dem Valideneinkommen von Fr. 56'280.-- ergebe sich eine Erwerbseinbusse von Fr. 10'244.-- bzw. ein Invaliditätsgrad von 18 %, welcher keinen Anspruch auf eine Invalidenrente einräume (Urk. 2).
3.
3.1 Dr. B.___ diagnostizierte in seinem Bericht vom 27. Juni 2000 (Urk. 8/23) ein lumboradikuläres Syndrom S1 bei isthmischer Spondylolisthesis L5 mit foraminaler Stenose L5/S1 beidseits und einen Diabetes mellitus Typ II. In seiner angestammten Tätigkeit als Maschinenführer sei der Beschwerdeführer vom 7. Mai bis zum 14. Juni 1999 zu 100 %, vom 15. Juni bis zum 16. Juli 1999 zu 50 % und seit dem 9. September 1999 bis auf weiteres wiederum zu 100 % arbeitsunfähig. Die Ausübung leichter, rückenadaptierter Tätigkeiten ohne wiederholtes Heben von Lasten über 10 kg sei dem Beschwerdeführer dagegen halbtags zumutbar.
Im Bericht vom 24. Juli 2003 (Urk. 8/18) führte Dr. B.___ aus, bei unveränderter Diagnose hätten sich seit dem stationären Aufenthalt in der Klinik D.___ keine neuen Aspekte ergeben. In Frage komme nach wie vor lediglich ein stundenweiser Einsatz in einer behinderungsangepassten Tätigkeit.
3.2 Dr. G.___ von der Klinik C.___ reichte der Beschwerdegegnerin am 31. August 2000 (Urk. 8/22) seine Untersuchungsberichte über die Konsultationen des Beschwerdeführers vom 28. September und vom 19. Oktober 1999 ein. Danach konnte eine isthmische Spondylolisthese L5 mit Foramenstenose L5/S1 beidseits (mehr links) sowie klinisch eine Lumboischialgie links mit sensibler L5- und S1-Symptomatik links festgestellt werden. Als Textilarbeiter mit Heben von schweren Lasten sei der Beschwerdeführer aktuell nicht arbeitsfähig. Seit Beginn der Schmerzen im Mai 1999 habe er Arbeitsunterbrüche gehabt, wobei er zeitweise Arbeitsversuche mit 50 % durchgeführt habe, welche jedoch wegen belastungsabhängigen Schmerzen im linken Bein nicht gelungen seien. Auf Nachfrage der Beschwerdegegnerin führte Dr. G.___ am 6. November 2000 (Urk. 8/21) aus, in einer der Behinderung angepassten Hilfsarbeitertätigkeit sei der Beschwerdeführer zu 100 % arbeitsfähig, wobei er das Heben von schweren Gegenständen vermeiden sollte.
3.3 Laut dem Austrittsbericht der Rheuma- und Rehabilitationsklinik D.___ vom 10. Juli 2001 (Urk. 8/20) leidet der Beschwerdeführer unter einem lumbospondylogenen Schmerzsyndrom bei Status nach Diskushernie L5/S1 links 1999, Spondylolyse L5 mit Spondylolisthesis Grad I und sensibler L5- und S1-Symptomatik links sowie unter einem Diabetes mellitus Typ II bei diabetischer peripherer Polyneuropathie. Der Beschwerdeführer habe nach dem stationären Aufenthalt die Klinik am 13. Juni 2001 in gebessertem Allgemeinzustand verlassen können. Längerfristig sollte der Versuch einer Wiederaufnahme der Berufstätigkeit mit einer maximalen Arbeitsfähigkeit von 50 % unternommen werden. In ihrem Bericht an die Beschwerdegegnerin vom 18. August 2001 (Urk. 8/19) führten die Ärzte der Klinik D.___ sodann aus, schwere körperliche Arbeiten könnten vom Beschwerdeführer bei deutlich reduzierter Ausdauer nicht mehr ausgeführt werden. Das Verharren in einer Körperposition für längere Zeit sei nicht mehr möglich. Aufgrund dieser Funktionseinschränkungen sei eine berufliche Umstellung notwendig, wobei eine Tätigkeit möglichst ohne Überkopfarbeiten oder Tragebelastungen, einer Gehstrecke von maximal einer halben Stunde sowie mit häufigen Wechseln zwischen Sitzen und Stehen in Frage komme. Eine solche Arbeit könne der Beschwerdeführer halbtags ausüben.
3.4 Gemäss dem Gutachten der Rheumaklinik des Spitals E.___ vom 26. September 2003 (Urk. 8/17) leidet der Beschwerdeführer unter einem lumbospondylogenen Schmerz-Syndrom bei Spondylolyse L5 beidseits und Spondylolisthesis L5/S1 Grad I (röntgenologisch ohne Progredienz vom 14. Mai 1999 bis zum 24. September 2003). Die ausgeprägte Einschränkung der Alltagsaktivitäten lasse sich durch die rheumatologische Untersuchung und die Befunde einschliesslich Aktenlage und aktueller Röntgenbilder nicht hinreichend erklären. Nachvollziehbar sei eine Einschränkung für körperlich belastende Arbeiten, worunter auch die angestammte Tätigkeit als Maschinenführer falle. In einer Arbeitstätigkeit ohne schweres Heben und mit wechselnder Körperposition (z.B. Überwachungstätigkeit, Taxichauffeur, Lagerist mit Ordnungsfunktion) bestehe hingegen eine volle Arbeitsfähigkeit.
4.
4.1 Unterzieht man die oberwähnten medizinischen Berichte einer näheren Betrachtung, so kommt man zum Ergebnis, dass der Gesundheitszustand des Beschwerdeführers seit dem Eintritt der Arbeitsunfähigkeit in der angestammten Tätigkeit im Jahre 1999 unverändert geblieben ist.
Soweit beschwerdeweise eine zusätzliche psychische Einschränkung geltend gemacht wird, gilt es festzuhalten, dass sich aus den Akten keinerlei Hinweis auf eine psychische Störung mit Krankheitswert ergibt und jedenfalls nicht schon allein deshalb eine psychiatrische Untersuchung vorzunehmen ist, weil die subjektiven Schmerzangaben des Exploranden nicht bzw. nicht vollständig durch objektive somatische Befunde erklärt werden können. Es kann mithin der Beschwerdegegnerin in diesem Zusammenhang weder eine Verletzung des rechtlichen Gehörs noch des Untersuchungsgrundsatzes vorgeworfen werden.
Bezüglich der Nervenwurzelkompression L5 links ist anzumerken, dass die Beschreibung über das MRI des Instituts F.___ im Bericht vom 2. Dezember 2003 (Urk. 8/16) im Wesentlichen mit derjenigen der Klinik C.___ aus dem Jahre 1999 übereinstimmt (vgl. Urk. 8/22). Es kann somit auch in dieser Hinsicht keine Veränderung des Gesundheitszustands des Beschwerdeführers festgestellt werden. Entgegen der Ansicht von Dr. B.___ hat Dr. med. H.___ vom Institut F.___ die Nervenwurzelkompression auch gar nicht einwandfrei diagnostizieren können, sondern er hat lediglich ausgeführt, es bestehe eine teils ossär, teils diskal bedingte Dekonfiguration der Nervenwurzel L5 links als Hinweis auf eine Dekompression als mögliche Ursache des Beschwerdebildes.
4.2 Während sämtliche Ärzte neben der gestellten Diagnose auch darin übereinstimmen, dass in der angestammten Tätigkeit keine Arbeitsfähigkeit mehr besteht, unterscheiden sich die Beurteilungen aber bezüglich der Arbeitsfähigkeit in einer behinderungsangepassten Tätigkeit. Zwei (Klinik C.___ und Spital E.___) gehen von einer vollen und zwei (Dr. B.___ und Klinik D.___) lediglich von einer 50%igen Arbeitsfähigkeit aus.
4.3 Soweit die Beschwerdegegnerin auf die Beurteilung des Spitals E.___ abstellt, übersieht sie, dass gemäss Urteil des EVG nicht diese, sondern die Beurteilung durch die Klinik D.___ massgebend ist, wonach lediglich eine 50%ige Arbeitsfähigkeit in einer behinderungsangepassten Tätigkeit besteht. Das EVG hat in seinem Urteil vom 10. März 2003 die Beschwerdegegnerin nicht angewiesen zu prüfen, ob eine Verschlechterung des Gesundheitszustandes eingetreten ist, und die Beschwerdegegnerin hätte auch keine neue Überprüfung der Arbeitsfähigkeit des Beschwerdeführers vorzunehmen gehabt. Vielmehr hat das EVG unmissverständlich festgehalten, dass sich der Gesundheitszustand des Beschwerdeführers seit Juni 2000 verschlechtert hat, dass - unter Ausserachtlassung der rechtskräftigen Verfügung vom 9. Mai 2001 - aufgrund der Beurteilung durch die Klinik D.___ von einer 50%igen Arbeitsunfähigkeit in einer behinderungsangepassten Tätigkeit ab Juni 2001 auszugehen und dass gestützt darauf der Einkommensvergleich vorzunehmen ist. Es obliegt weder der Beschwerdegegnerin noch dem Sozialversicherungsgericht des Kantons Zürich diese verbindlichen höchstrichterlichen Festlegungen auf deren Richtigkeit zu überprüfen. Somit ist im Folgenden von einer 50%igen Arbeitsfähigkeit in einer Tätigkeit ohne Überkopfarbeiten oder Tragebelastungen, mit einer Gehstrecke von maximal einer halben Stunde und der Möglichkeit des häufigen Wechsels zwischen Stehen und Sitzen ab Juni 2001 auszugehen und gestützt darauf der Grad der Erwerbsunfähigkeit zu ermitteln.
5.
5.1 Die Beschwerdegegnerin ist von einem um die Nominallohnentwicklung angepassten Valideneinkommen von Fr. 56'280.-- für das Jahr 2003 ausgegangen. Diese Zahl basiert auf den Angaben der ehemaligen Arbeitgeberin des Beschwerdeführers vom 8. Dezember 2000 (Urk. 8/44), wonach der Beschwerdeführer im Jahr 2000 ein Einkommen von Fr. 53'245.-- hätte erzielen können und der höhere Lohn des Jahres 1998 von Fr. 63'160.50 dadurch zu erklären sei, dass der Beschwerdeführer in dieser Zeit Überstunden geleistet habe. Laut dem Arbeitgeberbericht vom 22. Mai 2000 (Urk. 8/46) hat der Beschwerdeführer im Jahre 1998 jedoch lediglich 1878 Arbeitsstunden geleistet, womit er bei einer Normalarbeitszeit von 8,2 Stunden pro Tag bzw. 41 Stunden pro Woche keine Überstunden geleistet hätte. Ohnehin ist aber zu berücksichtigen, dass beim Valideneinkommen regelmässig geleistete Überstunden miteinzubeziehen sind und vorliegend nicht festgestellt werden kann, dass der Beschwerdeführer ohne Eintritt des Gesundheitsschadens weniger gearbeitet hätte. Es rechtfertigt sich deshalb, auf das zuletzt bei voller Gesundheit erzielte Einkommen des Jahres 1998 von Fr. 63'160.50 abzustellen. Angepasst an die Nominallohnentwicklung von 0,3 % 1999, 1,3 % 2000 und 2,5 % 2001 (vgl. Die Volkswirtschaft 10-2004, Tabelle B 10.2, S. 91) beträgt das Valideneinkommen für das Jahr 2001 Fr. 65'777.85.
5.2 Für die Bestimmung des Invalideneinkommens ist primär von der beruflich-erwerblichen Situation auszugehen, in welcher die versicherte Person konkret steht. Ist kein solches tatsächlich erzieltes Erwerbseinkommen gegeben, namentlich weil die versicherte Person nach Eintritt des Gesundheitsschadens keine oder jedenfalls keine ihr an sich zumutbare neue Erwerbstätigkeit aufgenommen hat, so können nach der Rechtsprechung Tabellenlöhne gemäss den vom Bundesamt für Statistik periodisch herausgegebenen Lohnstrukturerhebungen (LSE) herangezogen werden (BGE 126 V 76 f. Erw. 3b/aa und bb, vgl. auch BGE 129 V 475 Erw. 4.2.1). Für die Invaliditätsbemessung wird praxisgemäss auf die standardisierten Bruttolöhne (Tabellengruppe A) abgestellt (BGE 129 V 476 Erw. 4.2.1 mit Hinweis), wobei jeweils vom so genannten Zentralwert (Median) auszugehen ist. Bei der Anwendung der Tabellengruppe A gilt es ausserdem zu berücksichtigen, dass ihr generell eine Arbeitszeit von 40 Wochenstunden zugrunde liegt, welcher Wert etwas tiefer ist als die bis 1998 betriebsübliche durchschnittliche Arbeitszeit von wöchentlich 41,9 Stunden, seit 1999 von 41,8 Stunden, seit 2001 von 41,7 Stunden (Die Volkswirtschaft 4/2004 S. 86 Tabelle B9.2; BGE 129 V 484 Erw. 4.3.2, 126 V 77 f. Erw. 3b/bb, 124 V 322 Erw. 3b/aa; AHI 2000 S. 81 Erw. 2a).
Nach der Rechtsprechung ist beim Einkommensvergleich unter Verwendung statistischer Tabellenlöhne zu berücksichtigen, dass gesundheitlich beeinträchtigte Personen, die selbst bei leichten Hilfsarbeitertätigkeiten behindert sind, im Vergleich zu voll leistungsfähigen und entsprechend einsetzbaren Arbeitnehmern und Arbeitnehmerinnen lohnmässig benachteiligt sind und deshalb in der Regel mit unterdurchschnittlichen Lohnansätzen rechnen müssen. Sodann ist dem Umstand Rechung zu tragen, dass weitere persönliche und berufliche Merkmale einer versicherten Person, wie Alter, Dauer der Betriebszugehörigkeit, Nationalität oder Aufenthaltskategorie sowie Beschäftigungsgrad Auswirkungen auf die Lohnhöhe haben können. In BGE 126 V 75 ff. hat das Eidgenössische Versicherungsgericht die bisherige Praxis dahin gehend präzisiert, dass die Frage, ob und in welchem Ausmass Tabellenlöhne herabzusetzen sind, von sämtlichen persönlichen und beruflichen Umständen des konkreten Einzelfalls (leidensbedingte Einschränkung, Alter, Dienstjahre, Nationalität/Aufenthaltskategorie und Beschäftigungsgrad) abhängig ist. Der Einfluss sämtlicher Merkmale auf das Invalideneinkommen ist nach pflichtgemässem Ermessen gesamthaft zu schätzen, wobei der Abzug auf höchstens 25 % zu begrenzen ist (BGE 129 V 481 Erw. 4.2.3 mit Hinweisen).
5.3 Der Zentralwert für die mit einfachen und repetitiven Aufgaben beschäftigten Männer betrug im Jahre 2000 im privaten Sektor Fr. 4'437.-- pro Monat bei 40 Arbeitsstunden die Woche (LSE 2000, Tabelle TA 1 S. 31), was unter Berücksichtigung der Nominallohnentwicklung von 2,5 % im Jahre 2001 (Die Volkswirtschaft 10-2004, Tabelle B 10.2 S. 91) und einer betriebsüblichen durchschnittlichen Arbeitszeit im Jahre 2001 von 41,7 Stunden pro Woche ein hypothetisches Einkommen 2001 von Fr. 4'741.20 pro Monat beziehungsweise von Fr. 56'894.40 pro Jahr ergibt. Bei einem Pensum von 50 % macht dies Fr. 28'447.20.
Dem Umstand, dass der Beschwerdeführer nur noch ein Teilpensum bewältigen kann und auch in einer behinderungsangepassten Tätigkeit gewissen Einschränkungen unterliegt, ist mit einem Abzug von 20 % Rechnung zu tragen. Soweit der Beschwerdeführer geltend machen lässt, es sei ein weiterer Abzug vorzunehmen, weil Ausländer nur unterdurchschnittliche Löhne erzielen würden, ist anzumerken, dass dies gemäss den Erhebungen des Bundesamtes für Statistik in der Kategorie "einfache und repetitive" Tätigkeiten für Niedergelassene (Kat. C) nicht zutrifft (vgl. LSE 2000, Tabelle TA 12 S. 47). Insgesamt resultiert somit ein Invalideneinkommen von Fr. 22'757.75. Verglichen mit dem Valideneinkommen von Fr. 65'777.15 ergibt sich eine Erwerbseinbusse von Fr. 43'019.40 bzw. 65,4 %.
6. In Gutheissung der Beschwerde ist demnach der angefochtene Einspracheentscheid vom 14. Januar 2004 aufzuheben, und es ist festzustellen, dass der Beschwerdeführer basierend auf einem Invaliditätsgrad von 65,4 % ab dem 1. Juni 2001 Anspruch auf eine halbe und ab dem 1. Januar 2004 Anspruch auf eine Dreiviertelsrente hat.
7. Der obsiegende Beschwerdeführer hat Anspruch auf Ersatz der Parteikosten. Diese werden vom Gericht festgesetzt und ohne Rücksicht auf den Streitwert nach der Bedeutung der Streitsache und nach der Schwierigkeit des Prozesses bemessen (§ 34 Abs. 1 des Gesetzes über das Sozialversicherungsgericht).
Im Hinblick auf die massgeblichen Kriterien erscheint die Zusprechung einer Prozessentschädigung von Fr. 1'900.-- (inklusive Barauslagen und MWSt) angemessen.
Das Gericht erkennt:
1. In Gutheissung der Beschwerde wird der angefochtene Einspracheentscheid der Sozialversicherungsanstalt des Kantons Zürich, IV-Stelle, vom 14. Januar 2004 aufgehoben, und es wird festgestellt, dass der Beschwerdeführer basierend auf einem Invaliditätsgrad von 65,4 % ab dem 1. Juni 2001 Anspruch auf eine halbe und ab dem 1. Januar 2004 Anspruch auf eine Dreiviertelsrente hat.
2. Das Verfahren ist kostenlos.
3. Die Beschwerdegegnerin wird verpflichtet, dem Beschwerdeführer eine Prozessentschädigung von Fr. 1'900.-- (inkl. Barauslagen und MWSt) zu bezahlen.
4. Zustellung gegen Empfangsschein an:
- Rechtsanwalt Dr. Kreso Glavas
- Sozialversicherungsanstalt des Kantons Zürich, IV-Stelle
- Bundesamt für Sozialversicherung
5. Gegen diesen Entscheid kann innert 30 Tagen seit der Zustellung beim Eidgenössischen Versicherungsgericht Verwaltungsgerichtsbeschwerde eingereicht werden.
Die Beschwerdeschrift ist dem Eidgenössischen Versicherungsgericht, Schweizerhofquai 6, 6004 Luzern, in dreifacher Ausfertigung zuzustellen.
Die Beschwerdeschrift hat die Begehren, deren Begründung mit Angabe der Beweismittel und die Unterschrift der beschwerdeführenden Person oder ihres Vertreters zu enthalten; die Ausfertigung des angefochtenen Entscheides und der dazugehörige Briefumschlag sowie die als Beweismittel angerufenen Urkunden sind beizulegen, soweit die beschwerdeführende Person sie in Händen hat (Art. 132 in Verbindung mit Art. 106 und 108 OG).